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镀锌风管主要作用有哪些类型呢？
（1）一般排气：其来源于机台运转发热产生不含有害物质或是高温气体，但考虑无尘室空调负荷与过滤装置负荷，因此将废气以一般风车抽至大气排放至大气环境而不需处理。注：GEX采用镀锌螺旋风管，HEX采用SUS304酸排（SEX）、碱排（AEX）。
（2）酸碱性排气：其主要来源于化学清洗工作站，清洗晶片时所产生之挥发性气体，此气体部分含有浓烟，部分则对呼吸系统有刺激性作用有害人体，故必须经过Scrubber中水洗中和处理，再由风机排入大气。
（3）有机溶剂排气：其主要来源于涂胶、显影工序和各工序使用有机溶剂清洗过程时所产生，需经有机废气处理设备处理后，再由风机排入大气。
